突破14nm工艺壁垒:天准科技发布TB2000晶圆缺陷检测装备
3月26日,苏州天准科技股份有限公司(股票代码:688003.SH)宣布,旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验证,将于SEMICON 2025展会天准展台(T0-117)现场正式发布。
这标志着公司半导体检测装备已具备14nm及以下先进制程的规模化量产检测能力。这是继TB1500突破40nm节点后,天准在高端检测装备国产化进程中的又一里程碑。
核心技术自主研发
TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统,配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台,同时结合AI图像处理算法和Design CA,有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。
TB2000的发布,使天准成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商,逐步实现先进工艺中缺陷检测装备的国产替代。
梯度化矩阵实现全节点覆盖
当前天准科技的产品矩阵已完成明场缺陷检测装备全制程覆盖,TB1000/TB1100(65-90nm)、TB1500(40nm)及TB2000(14nm)构建起完整的工艺节点适配体系,全面满足逻辑、存储等不同工艺客户产线上的明场缺陷检测需求。这种梯度化布局既保障了技术研发的商业闭环,又为持续突破更先进制程积蓄动能。从TB1000到TB2000的技术演进,折射出天准向国际龙头追赶到并行的角色转变。
此外,天准科技通过"自主研发+跨国并购+生态投资"三维战略,陆续推出晶圆微观缺陷检测、Overlay量测、CD量测、掩膜量测与检测等系列产品组合,打造了在半导体前道量测及检测领域的布局,构建覆盖晶圆制造、掩膜制造、封装测试全流程的智能检测解决方案。
天准,助力半导体产业迭代
据世界集成电路协会(WICA)发布的2025年展望报告,预计2025年全球半导体市场规模将提升到7189亿美元,同比增长13.2%,尤其是14nm及以下的高端检测装备市场,受到技术迭代和市场需求增长的双重驱动,将继续保持快速增长态势。
此次TB2000的发布,意味着在半导体产业逆全球化态势加剧的当下,天准科技以每年迭代一代产品的研发节奏,构建起覆盖芯片制造前道关键检测节点的技术护城河。未来,天准科技将持续投入研发资源,持续深化平台化技术优势,加速推进14nm以下制程国产化进程,助力中国半导体产业突破"卡脖子"技术壁垒,在高端装备领域实现跨越式发展。
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徐念沙会长调研潍柴雷沃智慧农业 农业机械 2025年6月9日,中国机械工业联合会会长徐念沙一行调研潍柴雷沃智慧农业科技股份有限公司。潍柴集团党委书记、董事长马常海等领导接待了调研组一行。徐念沙会长先后调研了潍柴雷沃大马力拖拉机工厂、潍柴数字化产业园、科技展馆,以及潍柴雷沃智慧农业园区的轮式机厂、试制测试中心、样机区、履带机工厂、客户服务中心等。了解了企业的主要产品、生产流程、技术设备以及产品质量管控等方面最新情况。座谈会上,潍柴雷沃智慧农业总经理王健等有关领导向徐念沙会长一行介绍了公司在企业改革发展、科技创新、产业升级等方面的情况。徐念沙会长对潍柴雷沃智慧农业的发展态势给予了充分肯定,对企业在数字化转型方面的积极探索与实践成果表示赞赏,希望企业继续加强科技创新,不断提升核心竞争力,持续增强发展韧性,在推动农业机械化、智能化发展中发挥更大作用。与会人员围绕我国农机装备发展现状、问题及趋势进行了交流讨论。此次调研由中国机械工业联合会与中国农业机械工业协会联合开展,旨在全面了解企业发展情况及相关诉求,听取企业意见建议,有效开展“十五五”规划编制工作,切实做好“四个服务”。本次调研行程紧凑、内容充实、轻车简从,在一天时间内高效完成多项内容,较好地完成了调研任务。通过实地考察,调研组对农机行业及骨干企业发展情况有了更深刻的认识,为“十五五”规划起草提供了重要参考。企业代表也纷纷表示,调研组提出的意见建议视角新颖、富有启发性,对下一步开展技术研发及市场推广工作具有较强的借鉴意义。潍柴动力(北京)国际资源投资有限公司董事长曹茂波,潍柴动力董事会办公室主任窦全礼,潍柴雷沃智慧农业副总经理李正宇,以及战略发展部、宣传与群众工作部、智慧农业研究院有关负责同志陪同调研。中国农业机械工业协会执行副会长赵剡水,中国机械联行业发展部有关负责同志等参加调研。(行业发展部)
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关于邀请参观“第三届中国国际供应链促进博览会”的函 机械工业 各有关单位:中国国际供应链促进博览会(简称链博会)是全球首个以供应链为主题的国家级展会,坚持国际化、专业化、市场化、绿色化办展理念,发挥贸易促进、投资合作、创新集聚、学习交流四大平台作用,促进上中下游衔接、大中小企业融通、产学研用协同、中外企业互动,致力于深化产业链供应链国际合作,维护全球产业链供应链稳定畅通。第三届链博会将于2025年7月16日至20日在北京举办。以“链接世界,共创未来”为主题,将继续设置先进制造链、数字科技链、智能汽车链、清洁能源链、健康生活链、绿色农业链等六大链条和供应链服务展区,纵向展示相关产业链上中下游先进理念、产品和技术,横向展示金融保险、物流配送、商业咨询、法律等配套服务。中国机械工业联合会作为链博会“先进制造链”的合作单位,将于7月17日上午与中国国际商会共同举办“第三届中国国际供应链促进博览会先进制造主题活动”,届时将邀约企业家与专家学者围绕“创新赋能与全球供应链韧性协同发展”、“高端装备制造业的智能化升级”、“绿色低碳技术驱动创新发展”等议题展开探讨。现诚挚邀请贵单位莅临第三届链博会现场观展并出席先进制造业主题活动。符合条件的组团单位可享受配套服务。详见文件正文:
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叶定达副会长出席2025模具行业大会和第二十四届中国国际模具技术和设备展览会 机械基础件 6月3-4日,由中国模具工业协会主办的2025模具行业大会和第二十四届中国国际模具技术和设备展览会(DMC2025)在上海隆重召开。中国机械工业联合会副会长叶定达应邀出席大会致辞并参观展会。叶定达在致辞中指出,模具工业是机械工业的重要组成部分,是钢、铜、铝等金属成形不可或缺的工艺装备,同时也是塑料、橡胶、陶瓷、玻璃成形的母体,服务领域广泛,对绿色制造、降本提质增效贡献极大。模具工业虽“隐形”却“硬核”,其发展水平不仅体现一个国家的制造业实力,更关乎产业链安全、技术创新高度和经济转型成效。中国模具产业凭借规模优势、技术积累和完善的供应链,已成为全球模具市场的“主力军”。叶定达指出,在当前复杂多变的经济形势之中。我们要认真学习宣传贯彻党的二十大精神,着力推动制造业高端化、智能化、绿色化发展,培育壮大战略性新兴产业。中国机械工业联合会将坚持以“四个服务”为办会宗旨,与各方力量携手,充分发挥自身优势资源,搭建行业交流平台,助力机械工业以及模具行业高质量发展。会议期间,叶定达出席了第二十四届中国国际模具技术和设备展览会开幕交流会,与世界各地的模具组织代表进行了深度的交流。(会员工作部)